一种掩模对准探测装置及方法，照明系统将照明光束照射到掩模对准标记上；光电组件，探测所述掩模对准标记的空间像经过透射型标记后的光强信息，所述光电组件依次包括光子转换晶体、光学滤波片、光电探测器，所述光电探测器通过隔离板的通孔与光学滤波片相连；有通孔的工件台基准板，所述透射型标记通过工件台基准板通孔与所述光子转换晶体直接连接。所述掩模对准探测装置及方法采用具有通孔的工件台基准板，在降低工件台加工制造难度的同时，使光子转换晶体与透射型标记间隔减小，降低了透射型标记各子标记的透射光信号间串扰，提高了对准精度。
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