本发明涉及倾斜结构体、倾斜结构体的制造方法、及分光传感器。所述倾斜结构体的制造方法包括:工序(a),在基板的上方形成牺牲膜;工序(b),形成第一膜,所述第一膜包括与基板连接的第一部分、位于牺牲膜的上方的第二部分、位于第一部分及第二部分之间的第三部分,并且第三部分的一部分、或者在第二部分和第三部分的边界部分处,具有与第一部分相比膜厚较薄的区域;工序(c),去除牺牲膜;工序(d),在工序(c)之后,在膜厚较薄的区域处使第一膜弯曲,并使第一膜的第二部分相对于基板而倾斜。
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