本发明公开了一种高灵敏度风速风向传感器，其包括衬底（1）、绝缘体（2）、分别设在绝缘体（2）表面且相距一定距离的第一底部阳极（3）和第二底部阳极（4）、与绝缘体（2）相连的支撑锚区（5）、与支撑锚区（5）相连的弹性膜（8）、与弹性膜（8）相连的刚性薄板（9），设置在刚性薄板（9）上的风杆（10）；风杆（10）位于刚性薄板（9）中心，第一底部阳极（3）和第二底部阳极（4）相对刚性薄板（7）中心对称放置，该风向传感器还包括设置在刚性薄板（9）下端且分别与第一底部阳极（3）和第二底部阳极（4）相对设置的第一尖端发射极（6）和第二尖端发射极（7）。本发明具有检测灵敏度高、功耗低、体积小和温漂小等特点。
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