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本发明提供一种基板处理方法，即使在放电开始后基板立即产生位置偏移，也能够尽早检测而立即中止处理，由此能够极力防止由于异常放电导致载置台损伤。该方法具有以下放电步骤：当通过开始提供导热气体而暂时上升的导热气体的流量降低并稳定之前成为规定的调压结束基准值以下时，对处理容器内提供高频电力来开始放电，在基板保持面上的被处理基板上产生上述处理气体的等离子体，在放电步骤中，在导热气体流量稳定之前的时刻设置多个判断点，在该判断点处，当由流量传感器检测出的导热气体流量超过规定的阈值时判断为存在基板偏移，针对每个判断点设定阈值，由此不需要等待导热气体流量的稳定就进行基板偏移判断。