本发明公开了一种真空干法刻蚀机的静电处理装置，用以解决现有技术中真空干法刻蚀机传片故障率高的问题。该装置包括电极和机械手臂，所述真空干法刻蚀机还包括静电释放控制模块，所述静电释放控制模块的一端与所述电极相连，另一端接地，用于控制所述电极与地的开合。本发明实施例还提供了一种真空干法刻蚀机的静电处理方法。如本发明提出的方案，通过静电释放控制模块控制电极与地的开合，从而实现将真空干法刻蚀机上聚集的静电释放到大地，进而降低真空干法刻蚀机的传片故障率。
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