一种离子注入段问题机台的判定方法，包括：执行步骤S1：针对生产工艺中不同制程工序，以及在所述制程工序中进行不同离子注入的物质成分建立数据库；执行步骤S2：在检测出颗粒缺陷时，测定所述颗粒成分，获得所述缺陷元素类型；执行步骤S3：根据所述缺陷元素类型和制程工序，比照数据库，当所述缺陷元素类型与所述制程工序对应时，判定所述制程工序之离子注入机为离子注入段问题机台。本发明离子注入段问题机台的判定方法在当离子注入工艺发生缺陷问题，良率扫描又没有前值的时候，可以有效缩短怀疑区间，帮助工程师快速的锁定问题机台，从而减少出现缺陷情况后导致的质量受影响产品数量，节约成本。
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