注浆成型的陶瓷旋转靶材的制备方法,制备方法包括，1浆料准备；粉体放入球磨管，加入纯水后开始球磨后导入到压力浆料储罐中开始制备注浆；（2）注浆成型；向模具内输送浆料同时从模具上下模分别开始抽气，取出靶胚体放置在通风区域干燥；（3）靶材烧结；烘干剩余水份，后转入烧结炉进行烧结，通过自然降温，当炉膛温度小于200℃后，打开炉门得到靶材。不但能同时满足大面积镀膜应用在靶材尺寸和形状上的要求，而且能很好的控制成本，提高生产效率。产品的稳定性、均匀性，可成形大尺寸、高密度、复杂形状靶材，可以保证靶材的密度和微观结构的均匀性。
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