一种检测矩阵状地设有多个像素的有源矩阵基板的短路缺陷,修正该短路缺陷的有源矩阵基板的制造装置,具备:台座30a,其载置成为有源矩阵基板的被检查基板19;缺陷像素检测部40a,其对载置于台座30a的被检查基板19输入检查用信号,电检测发生了短路缺陷的缺陷像素的坐标;以及缺陷位置确定部50,其对载置于台座30a的被检查基板19输入检查用信号,使由缺陷像素检测部40a检测出的缺陷像素发热,并且用远红外区热像感知该像素缺陷的发热,确定缺陷像素的短路缺陷的位置。
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