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反射镜角度定位装置和加工装置(发明专利)

  • 专利类型:发明专利
  • 商品列表:本发明公开了反射镜角度定位装置和加工装置,该反射镜角度定位装置包括:被配置旋转反射镜的马达;被配置为检测反射镜的旋转角度的检测器;和控制器,该控制器被配置为向马达供给电流以使得反射镜的旋转角度到达目标角度,基于表示向马达供给的电流的值和反射镜的歪斜角度之间的关系的模型估计被供给电流的反射镜的歪斜角度,并且,如果估计的角度超过容许值,那么执行调整对于马达的电流供给的处理,使得反射镜的歪斜角度落入容许
  • 价格:面议
  • 交易方式:转让
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本发明公开了反射镜角度定位装置和加工装置,该反射镜角度定位装置包括:被配置旋转反射镜的马达;被配置为检测反射镜的旋转角度的检测器;和控制器,该控制器被配置为向马达供给电流以使得反射镜的旋转角度到达目标角度,基于表示向马达供给的电流的值和反射镜的歪斜角度之间的关系的模型估计被供给电流的反射镜的歪斜角度,并且,如果估计的角度超过容许值,那么执行调整对于马达的电流供给的处理,使得反射镜的歪斜角度落入容许值内。

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