本发明公开了属于等离子体诊断技术领域的一种真空放电等离子体的离子流检测装置及方法。此发明主要特征是采用施加负电位的栅网对等离子体进行控制。一种真空放电等离子体的离子流检测装置结构如下：控制栅网布置在圆筒状物体的前端，加速电极和收集板布置在管两端，第一、第二栅网依次安装在收集板前面；等离子体源、管处于真空室中，控制栅网连接控制信号发生器，加速电极连接加速电压波形发生器。本发明的有益效果为：1便于分析放电等离子体在空间传输的特性。2可以对任意一段等离子体进行测量。3通过施加适当的阻挡电位就能实现等离子体的开断控制。4结构简单，测量精度高，抗干扰能力强，可以有效的检测到离子电流大小。
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