本发明涉及具有由记忆合金致动元件致动的多稳态元件的致动器设备。在一个实施例中，多稳态致动器包括双稳态双态隔膜元件，所述隔膜元件经调适以经由一个以上记忆合金细丝响应于热激活而对所述隔膜施加的力在两种稳定配置之间交替。所述双稳态隔膜元件耦合到驻留于阀配件的干部分上的磁性致动器元件，而由所述磁性致动器元件致动的柱塞驻留于阀配件的湿部分上。本发明还揭示用于制作及使用所述双稳态致动器设备的方法。
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