本发明提供一种涂敷方法和涂敷装置，即使在涂敷液例如抗蚀剂液的供给量较少的情况下也能在基板的表面上均匀地形成涂敷膜。涂敷方法包括：预湿工序，将预湿液供给到基板W的中心，并且使基板旋转而使预湿液扩散到第1基板的整个表面上；涂敷膜形成工序，向供给了预湿液的基板供给涂敷液例如抗蚀剂液，使该涂敷液干燥，从而在上述第1基板的表面形成涂敷膜。采用比涂敷液的表面张力高的混合液体作为预湿液，通过使能够溶解涂敷膜成分例如抗蚀剂成分的溶剂、和表面张力高于该溶剂的高表面张力液体混合，获得上述混合液体。分别独立地准备溶剂和高表面张力液体，在供给预湿液时，使溶剂与高表面张力液体混合。
商标交易常见问题
Q：如何尽快找到想要的标？
•21种筛选方法 200万闲置标源
•客服/交易专员均从业3年以上
Q：怎么规避有质量问题的标？
•上线销售前全面风险核查
•出具权威风险评估报告
Q：看中的标如何找到持有人？
•13年行业人脉积累 30余家合 作机构
Q：付款后，卖家跑了怎么办？
•全国独家签订《损失100%赔付协议》
•交易损失，24小时全额赔付
Q：没有营业执照怎么办？
•免费代办，最快1个工作日
Q：交易资料繁琐怎么办？
•只需提供身份证或营业执照
•剩下的资料我们帮你准备
Q：买的商标，如何尽快使用上？
•签订《独占许可协议》
•今天选中，明天就用如何做到？
Q：如何避免使用中出现侵权纠纷？
•10年有效期内免费监测
•任何潜在风险都将提前告知你
