行之知识产权综合服务平台

技术领域

本实用新型涉及一种分子泵机组预抽真空及分子泵检漏仪集成系统。

背景技术

在当前的低温压力容器制造过程中，内容器及夹层检漏普遍使用旋片式真空泵预抽空，当到达一定的真空度后系统接检漏仪检漏。在实际操作过程中操作者用分流法或者无分流法检测。在分流法检测过程中，因为旋片机械泵的密封性不好，容易造成误检。而无分流检测法因为检漏仪本身的抽速非常的小，就造成了反应时间过长，浪费了大量的工时。

在低温压力容器夹层抽高真空的过程中，普遍使用油扩散真空泵，油扩散真空在高抽速的同时也在消耗大量的电能，并且启动和关闭时间过长。

实用新型内容

为了解决低温压力容器在制造过程中的抽空检漏反应时间过长及夹层抽高真空过程中的能源消耗和工时浪费问题，本实用新型的目的是提供一种分子泵机组预抽真空及分子泵检漏仪集成系统。

为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

本实用新型一种分子泵机组预抽真空及分子泵检漏仪集成系统，包括真空室，所述真空室通过管道连接产品真空阀，所述产品真空阀通过管道连接高真空挡板阀，所述高真空挡板阀通过管道连接高真空电磁，所述高真空电磁通过管道连接分子泵，所述分子泵通过管道连接手动挡板阀，所述手动挡板阀通过管道连接电磁充气阀，所述电磁充气阀连接前级旋片泵，所述分子泵与所述手动挡板阀之间的管道通过管道连接检漏阀，所述检漏阀通过管道连接检漏仪；所述分子泵与所述手动挡板阀之间的管道通过管道连接旁路预抽挡板阀，所述旁路预抽挡板阀通过管道连接所述高真空挡板阀与所述高真空电磁阀之间的管道。

进一步的，所述产品真空阀与所述高真空挡板阀之间的管道上连接有第二电离规和第三电阻规。

进一步的，所述分子泵与所述手动挡板阀之间的管道上安装有第一电阻规。

进一步的，所述分子泵与所述高真空电磁阀之间的管道上安装有第一电离规和第二电阻规。

进一步的，所述真空室还连接有真空规管。

进一步的，所述管道均为金属波纹软管。

进一步的，所述金属波纹软管的材质为304不锈钢。

进一步的，所述真空室与所述产品真空阀为法兰连接，连接法兰为CF50真空法兰。

进一步的，所述分子泵为涡轮分子泵。

与现有技术相比，本实用新型的有益技术效果：使抽空检漏及夹层抽高真空有效的集成到一个系统，在系统使用过程中可以提高检漏的效率，并且比原有分子泵机组增加了旁路预抽系统，更好的保护了分子泵，延长的分子泵的使用寿命。

附图说明

下面结合附图说明对本实用新型作进一步说明。

图1为本实用新型的示意图。

附图标记说明：1-前级旋片泵；2-电磁充气阀；3-手动挡板阀；4-检漏仪；5-检漏阀；6-第一电阻规；7-分子泵；8-第二电阻规；9-第一电离规；10-高真空电磁阀；11-高真空挡板阀；12-第二电离规；13-第三电阻规；14-产品真空阀；15-真空室；16-真空规管；17-旁路预抽挡板阀。

具体实施方式

如图1所示，一种分子泵机组预抽真空及分子泵检漏仪集成系统，包括真空室15，所述真空室15通过管道连接产品真空阀14，所述产品真空阀14通过管道连接高真空挡板阀11，所述高真空挡板阀11通过管道连接高真空电磁10，所述高真空电磁10通过管道连接分子泵7，所述分子泵7通过管道连接手动挡板阀3，所述手动挡板阀3通过管道连接电磁充气阀2，所述电磁充气阀2连接前级旋片泵1，所述分子泵7与所述手动挡板阀3之间的管道通过管道连接检漏阀5，所述检漏阀5通过管道连接检漏仪4；所述分子泵7与所述手动挡板阀3之间的管道通过管道连接旁路预抽挡板阀17，所述旁路预抽挡板阀17通过管道连接所述高真空挡板阀11与所述高真空电磁阀10之间的管道；所述产品真空阀14与所述高真空挡板阀11之间的管道上连接有第二电离规12和第三电阻规13，所述分子泵7与所述手动挡板阀3之间的管道上安装有第一电阻规6，所述分子泵7与所述高真空电磁阀10之间的管道上安装有第一电离规9和第二电阻规8，所述真空室15还连接有真空规管16。

其中各管道均为金属波纹软管，所述金属波纹软管的材质为304不锈钢；所述真空室15与所述产品真空阀14为法兰连接，连接法兰为CF50真空法兰；所述分子泵为涡轮分子泵。

此旁路预抽系统（旁路预抽挡板阀17）在真空室15没有真空或者低真空的情况下使用，可以有效的避免在抽空过程中的涡流进入分子泵7泵腔，因为气体涡流的流动状态中可能附带一些微小的杂质，污染并损害分子泵。当真空室15内达到一定的真空度下，可以关闭旁路预抽系统（旁路预抽挡板阀17），打开分子泵7主抽空系统，此时气体在真空室15以及真空管道、泵腔内是过度流状态，可以启动分子泵抽真空。

在涡轮分子泵7和前级机械泵（前级旋片泵1）之间增加一个检漏阀5。当真空室15内真空到达检漏的真空时，检漏仪4可以直接接到检漏阀门上，在检漏过程中可以关闭前级机械泵的电磁充气阀2，此时检漏在整个系统中充当前级机械泵的作用，检漏仪4前面是大抽速的涡轮分子泵，此时检漏系统的反应时间将比直接中检漏仪无分流检测大大缩短。并且在检漏结束后，可以不用关闭分子本主泵，直接关闭检漏阀5即可。实现抽空的连续性，也能够保证真空系统管路不在检漏完成后重新连接，保证了系统管路的可靠性，提高的抽高真空以及检漏的效率。

本实用新型的具体操作步骤：

按如图1所示连接好的真空系统，开启真空泵机组中的前级旋片泵1，依次打开手动挡板阀3、旁路预抽挡板阀17、高真空挡板阀11，缓慢多次开启产品真空阀14，当电离规12和电阻规13（复合式真空计）读数优于10pa的时候，关闭旁路预抽挡板阀17，开启高真空电磁阀10和分子泵7，此时系统内的气体流动状态为过度流，当系统真空优于0.1pa，进入高真空阶段，此时可在检漏阀5处连接检漏仪4，在检漏的同时关闭手动挡板阀3，开启检漏阀5，进行检漏。如果真空室15有大的漏点，可以微启手动挡板阀3，进行分流法检测。

当检漏完成之后，可以直接关闭检漏阀5，打开手动挡板阀3进行抽高真空作业。当真空度达到一定的数值，可以直接关闭高真空挡板阀11，按GB/T18443.4-2010测量真空室的漏放气速率。

本实用新型使抽空检漏及夹层抽高真空有效的集成到一个系统，在系统使用过程中可以提高检漏的效率，并且比原有分子泵机组增加了旁路预抽系统，更好的保护了分子泵，延长的分子泵的使用寿命。

此系统可以实现检漏，抽高真空，测漏放气速率集成一体快速化。

以上所述的实施例仅是对本实用新型的优选方式进行描述，并非对本实用新型的范围进行限定，在不脱离本实用新型设计精神的前提下，本领域普通技术人员对本实用新型的技术方案做出的各种变形和改进，均应落入本实用新型权利要求书确定的保护范围内。