一种集中控制型六氟化硫气体净化处理装置，包括通过若干接口相连接的处理单元、动力单元和深冷单元，设置有高压散热器、缓冲罐、过滤器、吸附塔、在线湿度仪、碱液箱、低压散热器、吸附罐、压缩机、高压散热器、储气罐、真空计、真空泵、在线纯度检测仪、深冷容器、深冷主机和低温液泵。其中吸附塔包括加热丝和铂电阻，深冷容器安装有振动拨叉式液位装置。其优点是：将缓冲处理技术、深冷尾气分离处理技术和机械制冷式深冷分离组合集中于同一装置中，并解决了吸附塔冲氮再生加热和深冷容器的液位报警问题，能使回收后的六氟化硫气体经处理后达到要求，便于处理后的气体基地化集中处理和重新充入电气设备，实现了六氟化硫气体的循环使用。
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