本发明涉及一种TFT-LCD阵列基板及其制造方法。制造方法包括:在基板上沉积栅金属薄膜,形成包括栅电极、栅线和栅极引线的图形;沉积栅绝缘层、半导体薄膜、掺杂半导体薄膜、透明导电薄膜和源漏金属薄膜,形成包括有源层、数据线、数据引线、源电极、漏电极和像素电极的图形。本发明首先通过第一次工艺形成包括栅线和栅电极的图形,然后采用第二次工艺形成包括有源层、数据线、源电极、漏电极和像素电极的图形,通过二次工艺实现TFT-LCD阵列基板的制备,有效缩短了生产周期,降低了生产成本,不仅可提高产能,而且提高了生产质量。
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