本发明提供一种用于在基底的表面上形成具有高成膜效率和良好再现性和稳定性的有机聚合物薄膜的技术。当在基底12的表面上反复进行用于形成有机聚合物薄膜的真空沉积聚合时，将在真空状态的多个蒸发源容器32a、32b中蒸发的多种单体引入到真空状态的沉积室10中并使其聚合在沉积室10中布置的基底12的表面上，每次在单体的蒸发操作开始时，液态形式的每种单体以恒定的量存在于蒸发源容器32a、32b中。
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