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压力测量装置(发明专利)

  • 专利类型:发明专利
  • 商品列表:本发明公开了一种压力测量装置,其具有基座13,13’、由半导体制成的设置在基座13,13’上且与基座13,13’相连的中间件15,15’、和设置在中间件15,15’上并与中间件15,15’相连的半导体压力传感器17,该压力传感器具有支座19和测量薄膜21。压力测量装置可靠地保护敏感的测量薄膜21抵抗机械应变。在中间件15,15’中提供在中间件15,15’的内部延伸的环形分布的凹口33,该凹口围绕中
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本发明公开了一种压力测量装置,其具有基座13,13’、由半导体制成的设置在基座13,13’上且与基座13,13’相连的中间件15,15’、和设置在中间件15,15’上并与中间件15,15’相连的半导体压力传感器17,该压力传感器具有支座19和测量薄膜21。压力测量装置可靠地保护敏感的测量薄膜21抵抗机械应变。在中间件15,15’中提供在中间件15,15’的内部延伸的环形分布的凹口33,该凹口围绕中间件15,15’的第一圆柱区段35以及在基座侧与第一圆柱区段邻接的第二圆柱区段37。第二圆柱区段37的外径比第一圆柱区段35的要大。凹口向着中间件15,15’朝向基座13,13’的侧面打开。第二圆柱区段37具有朝向基座13,13’且位于基座13,13’暴露的端面上的端面,该端面形成连接面,中间件15,15’通过该连接面与基座13,13’牢固地机械连接。

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