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平面型精密二维微位移台(发明专利)

  • 专利类型:发明专利
  • 商品列表:本发明提供了一种平面型精密二维微位移台,属于超精密加工技术以及光电技术领域。本发明所述滑架竖直方向的四个面每一个面上设有两个平行的光轴,X向的光轴设置在顶板上面的通孔内,光轴与顶板上通孔的孔壁之间设有直线导套,Y向的光轴设置在底座上面的通孔内,光轴与底座上的通孔的孔壁之间设有直线导套,在底座一侧的X向的中间位置安装有高精度测微头,顶板一侧的Y向的中间位置安装有高精度测微头。由于本发明的滑架使得X-
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本发明提供了一种平面型精密二维微位移台,属于超精密加工技术以及光电技术领域。本发明所述滑架竖直方向的四个面每一个面上设有两个平行的光轴,X向的光轴设置在顶板上面的通孔内,光轴与顶板上通孔的孔壁之间设有直线导套,Y向的光轴设置在底座上面的通孔内,光轴与底座上的通孔的孔壁之间设有直线导套,在底座一侧的X向的中间位置安装有高精度测微头,顶板一侧的Y向的中间位置安装有高精度测微头。由于本发明的滑架使得X-Y向调整在同一平面内实现,减小了二维微位移调整装置的高度,简化了二维微位移调整装置的结构,增加了承受载荷,节省了制造成本。本发明主要用于超精密加工中的精确对刀,光电仪器的精密调整。

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