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一种激光直写机特殊样品套刻的样品台(公开号:CN104898379B)(发明专利)

  • 专利类型:发明专利
  • 商品列表:本发明公开了一种激光直写机特殊样品套刻的样品台,包括样品台主体,在所述样品台主体上设置若干个小孔,所述小孔分布在激光直写平台的真空吸附孔所吸附的范围内,所述样品台主体边缘设置定位线。本发明中(一)玻璃片子有一定的厚度,用于抬高样品的总高度,从而防止薄片曝光时镜头撞倒定位钉;(二)玻璃片上镂空的小孔,用于紧固样品台上较薄或较小的样品,防止曝光时样品滑动;(三)定位线可以精准的定位样品,从而实现每次放
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本发明公开了一种激光直写机特殊样品套刻的样品台,包括样品台主体,在所述样品台主体上设置若干个小孔,所述小孔分布在激光直写平台的真空吸附孔所吸附的范围内,所述样品台主体边缘设置定位线。本发明中(一)玻璃片子有一定的厚度,用于抬高样品的总高度,从而防止薄片曝光时镜头撞倒定位钉;(二)玻璃片上镂空的小孔,用于紧固样品台上较薄或较小的样品,防止曝光时样品滑动;(三)定位线可以精准的定位样品,从而实现每次放样角度差别在仪器允许的范围之内了,轻松便捷准确地放置样品,无须多次放样,从而大大提高了曝光套刻精度和效率。

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